微机电系统 (2)

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发布时间:2023-03-23 16:39:21

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资源描述:

微机电系统 机械电子工程学院专业选修课程 Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS) 教材 参考书籍 微系统技术,[德]W.Menz著,王春海等译, 化学工业出版社,2003 半导体制造技术,[美]Michael Quirk & Julian Serda著,韩郑生等译,电子工业出版社,2003 刘晓明,朱钟淦.《微机电系统设计与制造》国防工业出版社,2006 课 时—— 32 hours 上课时间——第9周-第16周

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发布者:巴士用户..

上传时间:2023-03-23 16:51:21

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